Produccion y caracterización con cambios de temperatura del sustrato

Detalles del proyecto

Descripción

Since its inception, the scientific and academic activity on the solid state has focused mainly on the preparation, characterization and theoretical studies of the properties of different types of materials with potential technological applications. in particular, there is a strong interest in coatings manufactured with materials that can be broadly classified as: semiconductors, superconductors, dielectrics, hard coatings, etc. a considerable effort has been made by the scientific community in the formation, characterization and study of nitrides with noble metals of the sawdust 4d and 5d, such as au, ag, cu and ru, which may have interesting electrical and mechanical properties [27]. on the other hand, transition metal nitrides have a great interest in fundamental sciences and technical applications,since these transition metal nitrides have such diverse properties ranging from appreciable changes in their hardness to the presence of superconducting properties [28].

Objetivo

Producción de recubrimientos de run variando la temperatura del sustrato en el momento de la descarga, para realizar un estudio sobre las condiciones de crecimiento en función de la estequiometria de ruxn. especificos -realizar recubrimientos de run por la técnica magnetron sputtering, variando la temperatura del sustrato. -obtención de espectros angostos n1s y ru por medio de la espectroccopía fotoelectrónica de rayos x. -obtención de patrones de difracción de rayos x. -caracterización morfológica de los recubrimientos por medio de la microscopia de electrónica de barrido.

Resultados esperados

Técnica de preparación y equipo para llevar a cabo los recubrimientos de las películas delgadas por medio de la técnica de pulverización catódica reactiva, se utilizará un sistema ajax industrial, la cámara de crecimiento tiene una presión base de 10-8 torr. los gases para los recubrimientos son introducidos a través de unos flujómetro digitales que son controlados desde una computadora. esta cámara cuenta con una ventana por donde se puede hacer espectroscopias ópticas del plasma producido durante los depósitos. para realizar los estudios de xps se cuenta con una fuente de rayos x de doble ánodo, uno de aluminio y otro de magnesio, cuyas energías son provenientes de las transiciones k?. del ánodo de al se obtienen fotones con una energía de 1486.6 ev y un ancho de línea de 0.85 ev y para el ánodo de mg se obtienen fotones con una energía de 1253.6 ev y un ancho de línea de 0.5 ev marca specs. los estudios de difraccción de rayos x se llevara acabo con el difractométro bruker axs (d8 advanced) geometría con óptica de haces paralelos, empleando una radiación de 40 kv y 30 ma e incidencia rasante a un ángulo de 2°. para el análisis elemental semi – cuantitativo y morfológico se se cuenta con un espetrometro de energía dispersiva (eds) philips xl 30 feg con una sonda estándar edax, que realiza análisis en en una región de1?m2. las imágenes se obtienen por medio de un sistema óptico-electrónico.
EstadoFinalizado
Fecha de inicio / finalización efectiva2/02/1530/01/17

Huella digital

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